品牌 | burkert/德國寶德 |
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BURKERT毛細管傳感器作用,介紹寶得毛細管傳感器
主管道中的層流元件產(chǎn)生個必需的壓差,使小部分流量進入旁路管道。
旁路管道內(nèi)壁上裝有帶膜硅芯片,用于測量流量。
采用 CMOS 傳感器技術(shù),在這塊膜上有個加熱電阻和兩個對稱的
溫度傳感器(分別位于上游和下游)。
如使加熱電阻保持在個恒定溫度,
則兩個溫度傳感器的壓差即可用于測量旁路通道內(nèi)流過芯片的氣體的流量。
該溫度傳感器的熱量低、與介質(zhì)直接接觸,因此具有許多特定的優(yōu)勢,
其中之就是對于流量變化的響應極快。
BURKERT毛細管傳感器作用,介紹寶得毛細管傳感器
帶 CMOS 傳感器的 MFC 具有100 ms 的響應時間,且靈敏度高,即使流量很小時也是如此。
與 CMOS 傳感器樣,毛細管傳感器也是采用層流元件來產(chǎn)生壓差,
使小部分流量進入旁路管道。而主要區(qū)別在于:毛細管傳感器不與介質(zhì)直接接觸。
兩個溫度相關(guān)的電阻纏繞在不銹鋼毛細管上,構(gòu)成半個惠斯頓電橋。
當氣體流過毛細管時,就會帶走部分熱量,流向為從 R1 R2。
這時,R1 的阻值下降,而 R2 的阻值上升。
如果給電橋提供恒定的電流,其輸出電壓就與這兩個電阻的差值成正比。
因此該輸出電壓與流過的氣體的流量成線性關(guān)系。
其線性關(guān)系甚使該傳感器可用于未經(jīng)標定的氣體:
通過采用個轉(zhuǎn)換因子對當前介質(zhì)的測量值進行修正。
這樣就可簡化標定,同時正確選擇傳感器材質(zhì)可確保毛細管傳感器適用于腐蝕性氣體。
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