SICK傳感器,施克傳感器,SICK
SICK——、強(qiáng)大的傳感器技術(shù)代名詞。SICK自動(dòng)化解決方案是優(yōu)化和改進(jìn)過程的理想選擇。今天,SICK公司(中文施克)已在40多個(gè)國家建立了分支機(jī)構(gòu),擁有5000多名
SICK施克傳感器是種物理裝置或生物器官,能夠探測、感受外界的信號、物理?xiàng)l件(如光、熱、濕度)或化學(xué)組成(如煙霧),并將探知的信息傳遞給其他裝置或
SICK施克傳感器的定義
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國家標(biāo)準(zhǔn)GB7665-87對傳感器下的定義是:“能夠感受規(guī)定的被測量并按照定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置,通常由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成”。這里所說的“可用輸出信號”是指便于加工處理、便于傳輸利用的信號?,F(xiàn)在電信號是zui易于處理和便于傳輸?shù)男盘?。傳SICK施克傳感器是種檢測裝置,能感受到被測量的信息,并能將檢測感受到的信息,按定規(guī)律變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出,以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。它是實(shí)現(xiàn)自動(dòng)檢測和自動(dòng)控制的要環(huán)節(jié)。
SICK施克傳感器工作原理的分類物理傳感器應(yīng)用的是物理效應(yīng),諸如壓電效應(yīng),磁致伸縮現(xiàn)象,離化、極化、熱電、光 SICK傳感器,施克傳感器,SICK
SICK施克傳感器原理電、磁電等效應(yīng)。被測信號量的微小變化都將轉(zhuǎn)換成電信號?;瘜W(xué)傳感器包括那些以化學(xué)吸附、電化學(xué)反應(yīng)等現(xiàn)象為因果關(guān)系的SICK施克傳感器,被測信號量的微小變化也將轉(zhuǎn)換成電信號。向傳感器提供±15V電源,激磁電路中的晶體振蕩器產(chǎn)生400Hz的方波,經(jīng)過TDA2030功率放大器即產(chǎn)生交流激磁功率電源,通過能源環(huán)形變壓器T1從靜止的初線圈傳遞旋轉(zhuǎn)的次線圈,得到的交流電源通過軸上的整流濾波電路得到±5V的直流電源,該電源做運(yùn)算放大器AD822的工作電源;由基準(zhǔn)電源AD589與雙運(yùn)放AD822組成的高精度穩(wěn)壓電源產(chǎn)生±4.5V的精密直流電源,該電源既作為電橋電源,又作為放大器及V/F轉(zhuǎn)換器的工作電源。當(dāng)彈性軸受扭時(shí),應(yīng)變橋檢測得到的mV的應(yīng)變信號通過儀表放大器AD620放大成1.5v±1v的強(qiáng)信號,再通過V/F轉(zhuǎn)換器LM131變換成頻率信號,通過信號環(huán)形變壓器T2從旋轉(zhuǎn)的初線圈傳遞靜止次線圈,再經(jīng)過外殼上的信號處理電路濾波、整形即可得到與彈性軸承受的扭矩成正比的頻率信號,該信號為TTL電平,既可提供給二次儀表或頻率計(jì)顯示也可直接送計(jì)算機(jī)處理。由于該旋轉(zhuǎn)變壓器動(dòng)--靜環(huán)之間只有零點(diǎn)幾毫米的間隙,加之傳感器軸上部分都密封在金屬外殼之內(nèi),形成的屏蔽,因此具有很強(qiáng)的抗干擾能力。有些傳感器既不能劃分到物理類,也不能劃分為化學(xué)類。大多數(shù)傳感器是以物理原理為基礎(chǔ)運(yùn)作的?;瘜W(xué)傳感器技術(shù)問題較多,例如可靠性問題,規(guī)模的可能性,價(jià)格問題等,解決了這類難題,化學(xué)傳感器的應(yīng)用將會有巨大增長SICK傳感器,施克傳感器,SICK
SICK施克傳感器-組成介紹
般說來,可以把傳感器看作由敏感元件(有時(shí)又稱為預(yù)變換器)和變換元件(有時(shí)又稱為變換器)兩部分組成。
敏感元件:能完成預(yù)變換的器件。
SICK施克變換器:能將感受到的非電量變換為電量。
SICK施克傳感器-指標(biāo)
靜態(tài)特性是指對靜態(tài)的輸入信號,傳感器的輸出量與輸入量之間所具有相互關(guān)系。因?yàn)檫@時(shí)輸入量和輸
SICK施克傳感器出量都和時(shí)間無關(guān),所以它們之間的關(guān)系,即傳感器的靜態(tài)特性可用個(gè)不含時(shí)間變量的代數(shù)方程,或以輸入量作橫坐標(biāo),把與其對應(yīng)的輸出量作縱坐標(biāo)而畫出的特性曲線來描述。表征傳感器靜態(tài)特性的主要參數(shù)有:線性度、靈敏度、分辨力和遲滯等。
動(dòng)態(tài)特性,是指傳感器在輸入變化時(shí),它的輸出的特性。在實(shí)際工作中,傳感器的動(dòng)態(tài)特性常用它對某些標(biāo)準(zhǔn)輸入信號的響應(yīng)來表示。這是SICK施克傳感器對標(biāo)準(zhǔn)輸入信號的響應(yīng)容易用實(shí)驗(yàn)方法求得,并且它對標(biāo)準(zhǔn)輸入信號的響應(yīng)與它對任意輸入信號的響應(yīng)之間存在定的關(guān)系,往往知道了前者就能推定后者。zui常用的標(biāo)準(zhǔn)輸入信號有階躍信號和正弦信號兩種,所以傳感器的動(dòng)態(tài)特性也常用階躍響應(yīng)和頻率響應(yīng)來表示
線性度:通常情況下,傳感器的實(shí)際靜態(tài)特性輸出是條曲線而非直線。在實(shí)際工作中,為使儀表具有均勻刻度的讀數(shù),常用條擬合直線近似地代表實(shí)際的特性曲線、線性度(非線性誤差)就是這個(gè)近似程度的個(gè)指標(biāo)。擬合直線的選取有多種方法。如將零輸入和滿量程輸出點(diǎn)相連的理論直線作為擬合直線;或?qū)⑴c特性曲線上各點(diǎn)偏差的平方和為zui小的理論直線作為擬合直線,此擬合直線稱為zui小二乘法擬合直線。
遲滯特性:表征傳感器在正向(輸入量增大)和反向(輸入量減小)行程間輸出-輸入特性曲線不致的程度,通常用這兩條曲線之間的zui大差值△MAX與滿量程輸出F·S的百分比表示。遲滯可由傳感器內(nèi)部元件存在能量的吸收造成。
傳感器-物件特點(diǎn)
靈敏度
SICK施克傳感器靈敏度是指傳感器在穩(wěn)態(tài)工作情況下輸出量變化△y對輸入量變化△x的比值。
它是輸出輸入特性曲線的斜率。如果傳感器的輸出和輸入之間顯線性關(guān)系,則靈敏度S是個(gè)常數(shù)。否則,它將隨輸入量的變化而變化。
靈敏度的量綱是輸出、輸入量的量綱之比。例如,某位移傳感器,在位移變化1mm時(shí),輸出電壓變化為200mV,則其靈敏度應(yīng)表示為200mV/mm
當(dāng)傳感器的輸出、輸入量的量綱相同時(shí),靈敏度可理解為放大倍數(shù)。提高靈敏度,可得到較高的測量精度。但靈敏度愈高,測量范圍愈窄,穩(wěn)定性也往往愈差。
SICK施克傳感器分辨力是指傳感器可能感受到的被測量的zui小變化的能力。也就是說,如果輸入量從某非零值緩慢地變化。當(dāng)輸入變化值未超過某數(shù)值時(shí),傳感器的輸出不會發(fā)生變化,即傳感器對此輸入量的變化是分辨不出來的。只有當(dāng)輸入量的變化超過分辨力時(shí),其輸出才會發(fā)生變化。
通常傳感器在滿量程范圍內(nèi)各點(diǎn)的分辨力并不相同,因此常用滿量程中能使輸出量產(chǎn)生階躍變化的輸入量中的zui大變化值作為衡量分辨力的指標(biāo)。上述指標(biāo)若用滿量程的百分比表示,則稱為分辨率。分辨率與傳感器的穩(wěn)定性有負(fù)相相關(guān)性。 傳感器-分類介紹
可以用不同的觀點(diǎn)對傳感器進(jìn)行分類:它們的轉(zhuǎn)換原理(傳感器工作的基本物理或化學(xué)效應(yīng));它們的用途;它們的
SICK施克傳感器輸出信號類型以及制作它們的材料和工藝等。
SICK施克傳感器工作原理,可分為物理傳感器和化學(xué)傳感器二大類:
按照其用途,傳感器可分類為:
壓力敏和力敏傳感器、位置傳感器 、液面?zhèn)鞲衅鳌⒛芎膫鞲衅?、速度傳感器、熱敏傳感器、加速度傳感器、射線輻射傳感器、 振動(dòng)傳感器、濕敏傳感器、磁敏傳感器、氣敏傳感器、真空度傳感器、生物傳感器等。
以其輸出信號為標(biāo)準(zhǔn)可將傳感器分為:
模擬傳感器——將被測量的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換成模擬電信號。
數(shù)字傳感器——將被測量的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換成數(shù)字輸出信號(包括直接和間接轉(zhuǎn)換)。
膺數(shù)字傳感器——將被測量的信號量轉(zhuǎn)換成頻率信號或短周期信號的輸出(包括直接或間接轉(zhuǎn)換)。
開關(guān)傳感器——當(dāng)個(gè)被測量的信號達(dá)到某個(gè)特定的閾值時(shí),傳感器相應(yīng)地輸出個(gè)設(shè)定的低電平或高電平信號。
在外界因素的作用下,所有材料都會作出相應(yīng)的、具有特征性的反應(yīng)。它們中的那些對外界作用zui敏感的材料,即那些具有功能特性的材料被用來制作傳感器的敏感元件。從所應(yīng)用的材料觀點(diǎn)出發(fā)可將傳感器分成下列幾類:
按照其所用材料的類別分:金屬、聚合物、陶瓷、混合物。
按材料的物理性質(zhì)分:導(dǎo)體、緣體、半導(dǎo)體、磁性材料。
按材料的晶體結(jié)構(gòu)分:單晶、多晶、非晶材料。
按照其制造工藝,可以將傳感器區(qū)分為:集成傳感器、薄膜傳感器、厚膜傳感器、陶瓷傳感器。
壓力傳感器的分類
壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中zui為常用的種傳感器,常常作為種自動(dòng)化控制的前端元件,因此其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,包括石油化工、造紙、水處理、電力、船舶、機(jī)床和公用設(shè)備等。
壓力傳感器的類型非常多,目前應(yīng)用比較常見的包括壓阻式壓力傳感器和壓電式壓力傳感器兩種。
壓阻式壓力傳感器
壓阻式壓力傳感器的工作原理是當(dāng)壓敏電阻受壓后產(chǎn)生電阻變化,通過放大器放大并采用標(biāo)準(zhǔn)壓力標(biāo)定,即可進(jìn)行壓力檢測。壓阻式壓力傳感器的主要取決于壓敏元件(即壓敏電阻)、放大電路,以及中的標(biāo)定和老化工藝。
在目前的壓力傳感器封裝工藝中,通??梢詫鹤枋矫舾行倔w做得體積小巧、靈敏度高,而且穩(wěn)定性好,并將壓敏電阻以惠司通電橋形式與應(yīng)變材料(通常為不銹鋼)結(jié)合在起,這樣來,就能確保壓阻式壓力傳感器過載能力強(qiáng)和抗沖擊壓力強(qiáng)。
該類傳感器適合測量高量程范圍的壓力變化,尤其在1Mpa以上時(shí),線性很好,精度也很高,并適合測量與應(yīng)變材料兼容的各類介質(zhì)。
在結(jié)構(gòu)上,該類傳感器將壓敏電阻以惠司通電橋形式與陶瓷燒結(jié)在起。其過載能力較應(yīng)變片類低些,抗沖擊壓力較差,但靈敏度較高,適合測量50Kpa以上的高量程范圍,而且耐腐蝕,溫度范圍也很寬。
抗腐蝕的陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞,壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面,使膜片產(chǎn)生微小的形變,厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面,連接成個(gè)惠斯通電橋(閉橋),由于壓敏電阻的壓阻效應(yīng),使電橋產(chǎn)生個(gè)與壓力成正比的高度線性、與激勵(lì)電壓也成正比的電壓信號,可以和應(yīng)變式傳感器相兼容。
傳感器-集成傳感
集成傳感器集成傳感器:是用標(biāo)準(zhǔn)的硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的。通常還將用于初步處理被測信號的部分電路也集成在同芯片上。薄膜傳感器則是通過沉積在介質(zhì)襯底(基板)上的,相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時(shí),同樣可將部分電路制造在此基板上。
SICK施克傳感器:利用相應(yīng)材料的漿料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后進(jìn)行熱處理,使厚膜成形。陶瓷傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠-凝膠等)。完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后,已成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié)。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,在某些方面,可以認(rèn)為厚膜工藝是陶瓷工藝的種變型。每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不足。由于研究、開發(fā)和所需的資本投入較低,以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因,采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。 傳感器-電阻傳感
電阻式傳感器是將被測量,如位移、形變、力、加速度、濕度、溫度等這些物理量轉(zhuǎn)換式成電阻值這樣的種器
電阻式傳感器件。主要有電阻應(yīng)變式、壓阻式、熱電阻、熱敏、氣敏、濕敏等電阻式傳感器件。傳感器中的電阻應(yīng)變片具有金屬的應(yīng)變效應(yīng),即在外力作用下產(chǎn)生機(jī)械形變,從而使電阻值隨之發(fā)生相應(yīng)的變化。電阻應(yīng)變片主要有金屬和半導(dǎo)體兩類,金屬應(yīng)變片有金屬絲式、箔式、薄膜式之分。半導(dǎo)體應(yīng)變片具有靈敏度高(通常是絲式、箔式的幾十倍)、橫向效應(yīng)小等優(yōu)點(diǎn)。
壓阻式傳感器是根據(jù)半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)在半導(dǎo)體材料的基片上經(jīng)擴(kuò)散電阻而制成的器件。其基片可直接作為測量傳感元件,擴(kuò)散電阻在基片內(nèi)接成電橋形式。當(dāng)基片受到外力作用而產(chǎn)生形變時(shí),各電阻值將發(fā)生變化,電橋就會產(chǎn)生相應(yīng)的不平衡輸出。用作壓阻式傳感器的基片(或稱膜片)材料主要為硅片和鍺片,硅片為敏感材料而制成的硅壓阻傳感器越來越受到人們的重視,尤其是以測量壓力和速度的固態(tài)壓阻式傳感器應(yīng)用zui為普遍。熱電阻傳感器主要是利用電阻值隨溫度變化而變化這特性來測量溫度及與溫度有關(guān)的參數(shù)。在溫度檢測精度要求比較高的場合,這種傳感器比較適用。較為廣泛的熱電阻材料為鉑、銅、鎳等,它們具有電阻溫度系數(shù)大、線性好、穩(wěn)定、使用溫度范圍寬、加工容易等特點(diǎn)。用于測量-200℃~ 500℃范圍內(nèi)的溫度。
傳感器-室溫傳感
SICK施克傳感器用于測量室內(nèi)和室外的環(huán)境溫度,管溫傳感器用于測量蒸發(fā)器和冷凝器的管壁溫度。室溫傳感器和管
SICK施克傳感器溫傳感器的形狀不同,但溫度特性基本致。按溫度特性劃分,美的使用的室溫管溫傳感器有二種類型:1、常數(shù)B值為4100K±3%,基準(zhǔn)電阻為25℃對應(yīng)電阻10KΩ±3%。溫度越高,阻值越??;溫度越低,阻值越大。離25℃越遠(yuǎn),對應(yīng)電阻公差范圍越大;在0℃和55℃對應(yīng)電阻公差約為±7%;而0℃以下及55℃以上,對于不同的供應(yīng)商,電阻公差會有定的差別。茲附“南韓新基”傳感器的溫度與電阻的對應(yīng)關(guān)系表(中間為標(biāo)稱值,左右分別為zui小zui大值):-10℃→(57.1821─62.2756─67.7617)KΩ;-5℃→(48.1378─46.5725─50.2355)KΩ;0℃→(32.8812─35.2024─37.6537)KΩ;5℃→(25.3095─26.8778─28.5176)KΩ;10℃→(19.6624─20.7184─21.8114)KΩ;15℃→(15.4099─16.1155─16.8383)KΩ;20℃→(12.1779─12.6431─13.1144)KΩ;30℃→(7.67922─7.97078─8.26595)KΩ;35℃→(6.12564─6.40021─6.68106)KΩ;40℃→(4.92171─5.17519─5.43683)KΩ;45℃→(3.98164─4.21263─4.45301)KΩ;50℃→(3.24228─3.45097─3.66978)KΩ;55℃→(2.65676─2.84421─3.04214)KΩ;60℃→(2.18999─2.35774─2.53605)KΩ。
除個(gè)別老產(chǎn)品外,美的空調(diào)電控使用的室溫管溫傳感器均使用這種類型的傳感器。常數(shù)B值為3470K±1%,基準(zhǔn)電阻為25℃對應(yīng)電阻5KΩ±1%。同樣,溫度越高,阻值越?。粶囟仍降?,阻值越大。離25℃越遠(yuǎn),對應(yīng)電阻公差范圍越大。茲附“日本北陸”傳感器的溫度與電阻的對應(yīng)關(guān)系表(中間為標(biāo)稱值,左右分別為zui小zui大值):-10℃→(22.1498─22.7155─23.2829)KΩ;0℃→(13.9408─14.2293─14.5224)KΩ;10℃→(9.0344─9.1810─9.3290)KΩ;20℃→(6.0125─6.0850─6.1579)KΩ;30℃→(4.0833─4.1323─4.1815)KΩ;40℃→(2.8246─2.8688─2.9134)KΩ;50℃→(1.9941─2.0321─2.0706)KΩ;60℃→(1.4343─1.4666─1.4994)KΩ。這種類型的傳感器僅用于個(gè)別老產(chǎn)品,如RF7.5WB、T-KFR120C、KFC23GWY等。 傳感器-排氣溫度
SICK施克傳感器用于測量壓縮機(jī)頂部的排氣溫度,常數(shù)B值為3950K±3%,基準(zhǔn)電阻為90℃對應(yīng)電阻5KΩ±3%。茲
SICK施克傳感器附“日本芝蒲”傳感器的溫度與電阻的對應(yīng)關(guān)系表(中間為標(biāo)稱值,左右分別為zui小zui大值):-30℃→(823.3─997.1─1206)KΩ;-20℃→(456.9─542.7─644.2)KΩ;-10℃→(263.7─307.7─358.8)KΩ;0℃→(157.6─180.9─207.5)KΩ;10℃→(97.09─109.8─124.0)KΩ;20℃→(61.61─68.66─76.45)KΩ;25℃→(49.59─54.89─60.70)KΩ;30℃→(40.17─44.17─48.53)KΩ;40℃→(26.84─29.15─31.63)KΩ;50℃→(18.35─19.69─21.12)KΩ;60℃→(12.80─13.59─14.42)KΩ;70℃→(9.107─9.589─10.05)KΩ;80℃→(6.592─6.859─7.130)KΩ;100℃→(3.560─3.702─3.846)KΩ;110℃→(2.652─2.781─2.913)KΩ;120℃→(2.003─2.117─2.235)KΩ;130℃→(1.532─1.632─1.736)KΩ。 傳感器-濕度傳感
高分子電容式濕度傳感器通常都是在緣的基片諸如玻璃、陶瓷、硅等材料上,用絲網(wǎng)漏印或真空鍍膜工藝做出
高分子電容式濕度傳感器電極,再用浸漬或其它辦法將感濕膠涂覆在電極上做成電容元件。濕敏元件在不同相對濕度的大氣環(huán)境中,因感濕膜吸附水分子而使電容值呈現(xiàn)規(guī)律性變化,此即為濕度傳感器的基本機(jī)理。影響高分子電容型元件的溫度特性,除作為介質(zhì)的高分子聚合物的介質(zhì)常數(shù)ε及所吸附水分子的介電常數(shù)ε受溫度影響產(chǎn)生變化外,還有元件的幾何尺寸受熱膨脹系數(shù)影響而產(chǎn)生變化等因素。根據(jù)德拜理論的觀點(diǎn),液體的介電常數(shù)ε是個(gè)與溫度和頻率有關(guān)的無量綱常數(shù)。水分子的ε在T=5℃時(shí)為78.36,在T=20℃時(shí)為79.63。有機(jī)物ε與溫度的關(guān)系因材料而異,且不*遵從正比關(guān)系。在某些溫區(qū)ε隨T呈上升趨勢,某些溫區(qū)ε隨T增加而下降。多數(shù)文獻(xiàn)在對高分子濕敏電容元件感濕機(jī)理的分析中認(rèn)為:高分子聚合物具有較小的介電常數(shù),如聚酰亞胺在低濕時(shí)介電常數(shù)為3.03.8。而水分子介電常數(shù)是高分子ε的幾十倍。因此高分子介質(zhì)在吸濕后,由于水分子偶極距的存在,大大提高了吸水異質(zhì)層的介電常數(shù),這是多相介質(zhì)的復(fù)合介電常數(shù)具有加和性決定的。由于ε的變化,使?jié)衩綦娙菰碾娙萘緾與相對濕度成正比。在設(shè)計(jì)和制作工藝中很難組到感濕特性全濕程線性。作為電容器,高分子介質(zhì)膜的厚度d和平板電容的效面積S也和溫度有關(guān)。溫度變化所引起的介質(zhì)幾何尺寸的變化將影響C值。高分子聚合物的平均脹系數(shù)可達(dá)到的量。例如硝酸纖維素的平均脹系數(shù)為108x10-5/℃。隨著溫度上升,介質(zhì)膜厚d增加,對C呈負(fù)貢獻(xiàn)值;但感濕膜的膨脹又使介質(zhì)對水的吸附量增加,即對C呈正值貢獻(xiàn)??梢姖衩綦娙莸臏囟忍匦允芏喾N因素支配,在不同的濕度范圍溫漂不同;在不同的溫區(qū)呈不同的溫度系數(shù);不同的感濕材料溫度特性不同。總之,高分子濕度傳感器的溫度系數(shù)并非常數(shù),而是個(gè)變量。所以通常傳感器能在-10-60攝氏度范圍內(nèi)是傳感器線性化減小溫度對濕敏元件的影響。比較的產(chǎn)品主要使用聚酰胺樹脂,產(chǎn)品結(jié)構(gòu)概要為在硼硅玻璃或藍(lán)寶石襯底上真空蒸發(fā)制作金電極,再噴鍍感濕介質(zhì)材料(如前所述)形式平整的感濕膜,再在薄膜上蒸發(fā)上金電極.濕敏元件的電容值與相對濕度成正比關(guān)系,線性度約±2%。雖然,測濕還算可以但其耐溫性、耐腐蝕性都不太理想,在工業(yè)域使用,壽命、耐溫性和穩(wěn)定性、抗腐蝕能力都有待于進(jìn)步提高。 傳感器-濕敏傳感
電阻式濕度傳感器陶瓷濕敏傳感器是近年來大力發(fā)展的種新型傳感器。優(yōu)點(diǎn)在于能耐高溫,濕度滯后,響應(yīng)速度快,體積小,便于批量,但由于多孔型材質(zhì),對塵埃影響很大,日常維護(hù)頻繁,時(shí)常需要電加熱加以清洗易影響產(chǎn)量,易受濕度影響,在低濕高溫環(huán)境下線性度差,特別是使用壽命短,長期可靠性差,是此類濕敏傳感器迫切解決的問題。當(dāng)前在濕敏元件的開發(fā)和研究中,電阻式濕度傳感器應(yīng)當(dāng)zui適用于濕度控制域,其代表產(chǎn)品氯化鋰濕度傳感器具有穩(wěn)定性、耐溫性和使用壽命長多項(xiàng)重要的優(yōu)點(diǎn),氯化鋰濕敏傳感器已有了五十年以上的和研究的歷史,有著多種多樣的產(chǎn)品型式和制作方法,都應(yīng)用了氯化鋰感濕液具備的各種優(yōu)點(diǎn)尤其是。
氯化鋰濕敏器件屬于電解質(zhì)感濕性材料,在眾多的感濕材料之中,被人們所注意并應(yīng)用于制造濕敏器件,氯化鋰電解質(zhì)感濕液依據(jù)當(dāng)量電導(dǎo)隨著溶液濃度的增加而下降。電解質(zhì)溶解于水中降低水面上的水蒸氣壓的原理而實(shí)現(xiàn)感濕。氯化鋰濕敏器件的襯底結(jié)構(gòu)分柱狀和梳妝,以氯化鋰聚乙烯醇涂覆為主要成份的感濕液和制作金質(zhì)電極是氯化鋰濕敏器件的三個(gè)組成部分。多年來產(chǎn)品制作不斷改進(jìn)提高,產(chǎn)品不斷得到改善,氯化鋰感濕傳感器其*的長期穩(wěn)定性是其它感濕材料不可替代的,也是濕度傳感器zui重要的。在產(chǎn)品制作過程中,經(jīng)過感濕混合液的配制和工藝上的嚴(yán)格控制是保持和發(fā)揮這特性的關(guān)鍵。 傳感器-壓阻傳感
壓阻式傳感器是用集成電路工藝技術(shù),在硅片上制造出四個(gè)等值的薄膜電阻,并組成電橋電路。當(dāng)不受力作用時(shí),電橋處于平衡狀態(tài),無電壓輸出;當(dāng)受到力作用時(shí),電橋失去平衡,輸出與應(yīng)力成正比的電壓。壓阻式傳感器的工作原理與傳統(tǒng)的半導(dǎo)體應(yīng)變式傳感器的工作原理樣,都是基于半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)。
壓阻系數(shù)
半導(dǎo)體電阻的相對變化近似等于電阻率的相對變化,而電阻率的相對變化與應(yīng)力成正比,二者的比例系數(shù)定義為
固態(tài)壓阻式傳感器壓阻系數(shù)。由下式可得:
傳感器
影響壓阻系數(shù)的因素
影響壓阻系數(shù)的因素主要是擴(kuò)散電阻的表面雜質(zhì)濃度和溫度。
固態(tài)壓阻器件
利用固體擴(kuò)散技術(shù),將P型雜質(zhì)擴(kuò)散到片N型硅底層上,形成層極薄的導(dǎo)電P型層,
裝上引線接點(diǎn)后,即形成擴(kuò)散型半導(dǎo)體應(yīng)變片。若在圓形硅膜片上擴(kuò)散出四個(gè)P型電阻,構(gòu)成惠斯登電橋的四個(gè)臂,這樣的敏感器件通常稱為固態(tài)壓阻器件。
測量電路
壓阻式傳感器的輸出信號般較小,需要用電路進(jìn)行放大。 傳感器-CCD傳感器
電荷藕合器件〔ChargeCoupleDevices,簡稱CCD),是固態(tài)圖像傳感器的敏感器件,與普通的MOS,TTL等電路
CCD傳感器樣,屬于種集成電路,但CCD具有光電轉(zhuǎn)換、信號儲存、轉(zhuǎn)移(傳輸)、輸出、處理以及電子快門等多種*功能。圖像傳感器是利用光電器件的光電轉(zhuǎn)換功能,將其感光面上的光像轉(zhuǎn)換為與光像成相應(yīng)比例關(guān)系的電信號“圖像”的種功能器件。
固態(tài)圖像傳感器是指在同半導(dǎo)體襯底上布設(shè)的若干光敏單元與移位寄存器構(gòu)成的集成化、功能化的光電器件。光敏單元簡稱為“像素”或“像點(diǎn)”,它們本身在空間上、電氣上是彼此獨(dú)立的。固態(tài)圖像傳感器利用光敏單元的光電轉(zhuǎn)換功能將投射到光敏單元上的光學(xué)圖像轉(zhuǎn)換成電信號“圖像”,即將光強(qiáng)的空間分布轉(zhuǎn)換為與光強(qiáng)成比例的、大小不等的電荷包空間分布。然后利用移位寄存器的功能將這些電荷包在時(shí)鐘脈沖控制下實(shí)現(xiàn)讀取與輸出,形成系列幅值不等的時(shí)序脈沖序列。
特點(diǎn):具有體積小、失真小、靈敏度高、抗振動(dòng)、耐潮濕、成本低。
基本原理:在系列MOS電容器金屬電極上,加以適當(dāng)?shù)拿}沖電壓,排斥掉半導(dǎo)體襯底內(nèi)的多數(shù)載流子,形成“勢阱”的運(yùn)動(dòng),進(jìn)而達(dá)到信號電荷(少數(shù)載流子)的轉(zhuǎn)移。如果所轉(zhuǎn)移的信號電荷是由光像照射產(chǎn)生的,則CCD具備圖像傳感器的功能;若所轉(zhuǎn)移的電荷通過外界注入方式得到的,則CCD還可以具備延時(shí)、信號處理、數(shù)據(jù)存儲以及邏輯運(yùn)算等功能。電荷偶合器件CCD的基本原理與金屬氧化物硅(MOS)電容器的物理機(jī)理密切相關(guān)。 傳感器-選用方法
SICK施克傳感器千差萬別,即便對于相同種類的測定量也可采用不同工作原理的傳感器,因此,要根據(jù)需要選用zui適宜的
如果誤選傳感器,就會降低系統(tǒng)的可靠性。為此,要從系統(tǒng)總體考慮,明確使用的目的以及采用傳感器的必要性,不要采用不適宜的傳感器與不必要的傳感器。測量條件列舉如下,即測量目的,測量量的選定,測量的范圍,輸入信號的帶寬,要求的精度,測量所需要的時(shí)間過輸入發(fā)生的頻繁程度。
)SICK施克傳感器的
選用傳感器時(shí),要考慮傳感器的下述,即精度,穩(wěn)定性,響應(yīng)速度,模擬信號或者數(shù)字信號,輸出量及其電平,被測對象特性的影響,校準(zhǔn)周期,過輸入保護(hù)。
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