簡介BALLUFF傳感器幾部分功能介紹
BALLUFF傳感器是用標準的硅基半導體集成電路的工藝技術制造的。通常還將用于初步處理被測信號的部分電路也集成在同芯片上。 薄膜傳感器則是通過沉積在介質襯底(基板)上的,相應敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時,同樣可將部分電路制造在此基板上。 厚膜傳感器是利用相應材料的漿料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后進行熱處理,使厚膜成形。 陶瓷傳感器采用標準的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠-凝膠等)。 完成適當的預備性操作之后,已成形的元件在高溫中進行燒結。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,在某些方面,可以認為厚膜工藝是陶瓷工藝的種變型。 每種工藝技術都有自己的優(yōu)點和不足。由于研究、開發(fā)和所需的資本投入較低,以及傳感器參數的高穩(wěn)定性等原因,采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。 (空侶網暖通專家提供)6、傳感器根據測量目的不同分類 物理型傳感器是利用被測量物質的某些物理性質發(fā)生明顯變化的特性制成的。 化學型傳感器是利用能把化學物質的成分、濃度等化學量轉化成電學量的敏感元件制成的。 生物型傳感器是利用各種生物或生物物質的特性做成的,用以檢測與識別生物體內化學成分的傳感器。
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